3D形貌地图配合色谱图，非常直观，但横向测试范围，纵向高度尺度也很关键。在超精密加工中，3D AOI（自动光学检测）是对传统精密加工上的升级，弥补了传统 AOI 由于2D成像原理上的一些缺陷，改进设备性能以满足各大电子厂对质量和产品能得双重要求。抛开光学轮廓度测量仪价格实惠不说，基于白光干涉原理而研发生产的SuperView W1能以非接触的方式，无损检测精密机械加工表面，检测结果以3D数据地图的方式显示，直观地展示了表面纹理特征。

 

如一款旋转抛物面零件，用于微小位移和角度检测，其表面具有超光滑、高反、凹面弧形特征，针对其凹面弧形的检测需求，现有的显微测量仪器中，原子力显微镜和共聚焦显微镜，均分别因有损测量或分辨率不够的原因而排除，而以白光干涉为原理的SuperView W1光学轮廓度测量仪在，能同时满足无损、超高分辨率、耐高反等条件。